光刻掩膜版清洗籃(Mask cleaner)是一種用于清洗光刻掩膜版的工具。
光刻掩膜版在半導體制造、平板顯示制造等高精度微納加工領域起著重要的作用。
它上面的微小圖案和結構在芯片制造等過程中用于將設計圖案轉移到硅片等基底材料上。
在使用過程中,掩膜版會沾染各種污染物,如灰塵、有機物、金屬顆粒等,
清洗籃就是用于在清洗過程中放置掩膜版,確保其在清洗過程中得到有效清潔,同時避免受到損壞。
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